מצעים קרמיים של סיליקון ניטריד (Si₃N₄) נמצאים בשימוש הולך וגובר במודולי כוח EV, IGBT, SiC ומערכות אחסון אנרגיה בשל עמידותם המצוינת בפני זעזועים תרמיים וחוזק מכני.
ייצור מסורתי דורש בדרך כלל מכונות נפרדות לקידוח, שרבוט וחיתוך קווי מתאר, מה שמוביל לטיפול חוזר, יישור מרובים ועלויות ייצור גבוהות יותר.
פלטפורמת עיבוד הלייזר המשולבת שלנו משלימה את הפעולות הללו בהגדרה אחת, מפחיתה את הטיפול, משפרת את דיוק המיקום ומפשטת את הייצור.
פלטפורמה אחת, תהליכים מרובים
לאחר-פעם אחת הידוק ואקום ויישור CCD, המכונה יכולה לבצע באופן אוטומטי:
›››קידוח בלייזר
›››שריטת לייזר
›››חיתוך קווי מתאר
שימוש במערכת קואורדינטות אחת לאורך התהליך ממזער שגיאות יישור ומפחית את הסיכון לשיתוקים או סדקים נסתרים הנגרמים מטיפול חוזר.
שתי אפשרויות לייזר
150W QCW סיבים לייזר
אידיאלי עבור:
›››חיתוך קווי מתאר
›››הפרדת לוח
›››חריצים
››› עובי-בינוני של Si₃N₄ (0.4–1.2 מ"מ)
יתרונות
›››אין צורך בציפוי פחמן
›››יעילות חיתוך גבוהה
››› חיתוך שכבות אופטימלי להפחתת מתח תרמי
לייזר 355nm UV Nanosecond
אידיאלי עבור:
›››קידוח מיקרו מדויק
›››כתיבה נאה
››› מצעים דקים (0.1–0.8 מ"מ)
››› אריזות קרמיקה בצפיפות-גבוהה
יתרונות
›››חום קטן-אזור מושפע
›››קירות חורים חלקים
›››איכות קצה טובה יותר
›››דיוק גבוה יותר עבור תכונות מיקרו
אוטומציה אופציונלית
טעינה ופריקה אוטומטית זמינה כאופציה.
לקוחות יכולים לבחור טעינה ידנית ליצירת אב טיפוס או להוסיף מודול אוטומציה לייצור-בנפח גבוה, 24/7 עם:
››› מגזינים מרובי-שכבות
›››טיפול בוואקום
›››איסוף אוטומטי
››› קישוריות MES
עוצב עבור סיליקון ניטריד
כדי להפחית מתח תרמי במהלך העיבוד, המערכת כוללת:
›››צ'אק ואקום
›››סיוע בחנקן-בלחץ גבוה
›››מים-שולחן עבודה מקורר
››› אסטרטגיית עיבוד שכבה-לפי-שכבה
תכונות אלו עוזרות לשפר את יציבות העיבוד ולהפחית את היווצרות הסדקים.
QCW Fiber לעומת לייזר UV
| תכונה | QCW Fiber | 355nm UV |
| חיתוך קווי מתאר | ★★★★★ | ★★★☆☆ |
| מיקרו קידוחים | ★★☆☆☆ | ★★★★★ |
| כתיבה בלייזר | ★★★★★ | ★★★★★ |
| מצעים דקים | ★★★☆☆ | ★★★★★ |
| הטוב ביותר עבור | חיתוך-במהירות גבוהה | עיבוד-בדיוק גבוה |
יישומים
הפלטפורמה מתאימה ל:
›››סיליקון ניטריד (Si₃N₄)
›››אלומינה (Al₂O₃)
›››אלומיניום ניטריד (AlN)
יישומים אופייניים כוללים מודולי IGBT, התקני כוח SiC, אלקטרוניקה EV, מערכות אחסון אנרגיה, מודולי כוח תעשייתיים וחבילות קרמיקה RF.
מַסְקָנָה
עם קידוח, שרבוט וחיתוך שהושלמו בהגדרה אחת, פלטפורמת הלייזר המשולבת מפשטת את ייצור הסיליקון ניטריד תוך שיפור הדיוק והפחתת הטיפול.
זמין עם אלייזר סיבי QCW 150Wאו אלייזר 355nm UV ננו-שניות, הוא מספק פתרון מעשי הן לייצור-בנפח גבוה והן לעיבוד קרמי מדויק.(ניתן לקבל בדיקות לדוגמה בחינם. פניות יתקבלו בברכה.)
